准分子激光

利用高能紫外脉冲进行微电子学研究, 显示, 科学研究, 医学, 薄膜加工.


  • 大字段长度处理 用均匀的大面积平顶梁覆盖样品表面.
  • 可伸缩的紫外线能力 使功率水平从前期生产到大批量生产.
  • 最终的精度 在低温薄膜加工中有选择地沉积激光能量.
准分子激光绘图

最广泛的准分子激光器组合

在准分子激光领域有50年的经验, 我们知道您得到最好的结果与准分子激光匹配您的应用程序. 这就是为什么我们提供最广泛的激光电源和能源选择, 所有产品都具有卓越的品质和性能.

准分子产品家族

ExciStar产品形象

ExciStar桌面UV准分子激光器设计用于精密任务,包括角膜消融, 处方镜头标记, 光学传感器制造.

高重复率-高达1 kHz. 桌面- 650 x 300毫米的足迹. 193nm或248nm -精密标记和烧蚀.
IndyStar产品形象

IndyStar激光器是坚固的高占空比周期UV准分子激光器,专为快速脉冲应用,如喷墨喷嘴钻孔, 计量和光学测试.

高脉冲率-高达2khz在24/7应用. 半导体应用-半s2兼容. 193nm和248nm -光刻发展,掩模和光学测试,微处理.
复杂的产品形象

复合紫外线激光器提供数百毫焦耳的脉冲能量,具有高脉冲到脉冲的稳定性和优秀的光束均匀性,适用于苛刻的应用.

高能-数百毫焦耳. 波长多功能性- 193 nm, 248 nm, 308 nm, 351 nm. 支持薄膜加工-晶圆加工,脉冲激光沉积.

飞跃 UV准分子激光器提供高能, 高精度加工与我们的高占空比输出相结合, 可靠性, 拥有成本低.

广泛的功率级选择-相同的平台支持大批量生产, 可达300瓦的预生产和开发. 按需脉冲-调整脉冲模式以适应您的工艺流程,最大限度地降低操作成本. 多功能-选择从193 nm, 248nm和308nm脉冲激光沉积模型, 微结构或显示处理.
λSX产品形象

λSX是用于生产车间的工业UV准分子激光器, 具有稳定的高能脉冲,支持大面积UV处理,光束稳定.

高功率-高达600瓦. 高脉冲能量-高达1000mj. 高脉冲速率-三频量产,高达600赫兹.
Vyper产品形象

VYPER千瓦到多千瓦UV准分子激光平台使高产量显示生产的最高吞吐量.

非常高的功率-高达3600瓦. 非常高的脉冲能量-高达6焦耳每脉冲. 无与伦比的能量稳定性-支持OLED和MicroLED背板处理.
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