准分子激光

利用高能紫外线脉冲用于微电子, 显示, 科学研究, 医学, 以及薄膜加工.


  • 大字段长度处理 用均匀的大面积平顶梁覆盖试样表面.
  • 可伸缩的紫外线能力 从前期生产调整到大批量生产的功率水平.
  • 最终的精度 在低温薄膜加工中选择性沉积激光能量.
准分子激光画线

最广泛的准分子激光器组合

在准分子激光器方面有50年的经验, 我们知道,准分子激光与您的应用匹配,您可以得到最好的结果. 这就是为什么我们提供最广泛的激光电源和能源选择, 品质优良,性能优良.

准分子产品家族

ExciStar产品形象

ExciStar桌面紫外准分子激光器是专为精细的任务,包括角膜消融, 处方镜头标记, 及光学传感器制造.

高重复率-高达1khz. 桌面- 650 x 300毫米的足迹. 193nm或248nm -精密标记和烧蚀.
IndyStar产品形象

IndyStar激光器是坚固耐用的高占空比紫外准分子激光器,设计用于快速脉冲应用,如喷墨喷嘴钻孔, 计量和光学测试.

高脉冲率-高达2 kHz在24/7的应用. 半导体应用-半s2兼容. 193nm和248nm -光刻开发,掩模和光学测试,微处理.
复杂的产品形象

复杂紫外激光器提供数百毫焦耳的脉冲能量与高脉冲的稳定性和优良的光束均匀性的要求的应用.

高能-数百毫焦耳. 波长多功能性- 193 nm, 248 nm, 308 nm, 351 nm. 支持薄膜加工-晶圆加工,脉冲激光沉积.

飞跃 UV准分子激光器提供高能, 高精度加工与高占空比输出的结合, 可靠性, 拥有成本低.

广泛的功率级别选择-相同的平台支持高批量生产, 300瓦的预生产和开发. 脉冲按需-适应脉冲模式到您的流程流,以最小化操作成本. 多功能-可选193nm波长, 脉冲激光沉积的248nm和308nm模型, 微结构或显示处理.
λSX产品图像

λSX是工业UV准分子激光器的生产车间, 具有稳定的高能脉冲,支持大面积紫外处理,具有光束稳定性.

高功率-高达600瓦. 高脉冲能量-高达1000兆焦耳. 高脉冲频率-三班量产,最高可达600hz.
Vyper产品形象

VYPER千瓦到多千瓦UV准分子激光平台可以实现高产量的显示器生产.

非常高的功率-高达3600瓦. 非常高的脉冲能量-高达6焦耳每脉冲. 无与伦比的能量稳定性-支持OLED和MicroLED背板处理.
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